ISO(等温等圧)又はTG(温度勾配)、それぞれの要求に対応して加熱室設計
製品形状や荷姿条件に合わせてガス流れを水平又は垂直に選択
メンテナンスが容易なマッフル・ノズルの形状構造と配管の形式
ガス供給から排気スクラバーまでの生産全ラインをターンキー供給
各部の寿命又はメンテナンス周期延長のための様々な考案
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 装置形式 | 等温・等圧ガスリアクター縦型真空炉 |
| 適用工程 | 熱分解カーボンのCVI 又は CVD 蒸着 |
| 被処理物 | カーボン、カーボン複合材 |
| 積載体積 | 254L ~ 3532L |
| 使用温度 | 1,000℃ ~ 1,200℃[Max. 1,350℃] |
| 温度分布 | ±6 ~ 12℃ [1000℃, No Load, Vacuum] |
| 昇温速度 | 2~10℃/min |
| 温度制御 | 熱電対とサイリスターによった分割ゾンのPID制御 |
| 炉材材質 | グラファイト |
| レトルトマッフル | 多角形円筒 |
| 工程ガス | CH4, C3H8, N2, Argon |
| ガス流量制御 | MFCと流量計の並列制御 |
| 工程圧力 | 分圧 ： 1.3KPa ~ 7KPa、 常圧 : 105KPa |
| 分圧制御機器 | Manometer & Throttle valve |
| 真空排気 | メカブ ＋ ドライポンプ |
| 装入方式 | 下部台車装入、 ターンテーブル回転 |
| 排気処理 | ベーパートラップ、パーティクルフィルタ、スクラバー |
| システム制御 | PLC 制御、 タッチパネル又はPC インターフェイス |
| 電源電力 | AC 3ph |
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 装置形式 | クラムシェルタイプ縦型ガスリアクター真空炉 |
| 適用工程 | 温度勾配によったカーボンベーパーの段階別蒸着 |
| 被処理物 | カーボン複合材のpreform |
| 積載体積 | 254L ~ 3885L |
| 使用温度 | Max. 1200℃ |
| 昇温速度 | 2~10℃/min |
| 温度制御 | 熱電対とサイリスターによったPID連続制御 |
| ヒーター | グラファイトロッド 又は プレート |
| 反射板シールド | SUS316L シートの積層アセンブリ |
| 電極アセンブリ | 銅電極、グラファイト半球・円盤スペーサー |
| 工程ガス | CH4, C3H8, H2, N2 |
| ガス流量制御 | MFC、流量計、Throttle valve |
| 工程圧力 | 分圧 : 1~ 10KPa、 常圧 : 100 ~ 130KPa |
| 真空排気 | メカブ & ドライポンプ |
| 扉開閉 | 前後扉のヒンジ回転・油圧クランプロック |
| 排気処理 | Cu pellet トラップ、パーティクルフィルタ、スクラバー |
| システム制御 | PLC 制御、 タッチパネル又はPC インターフェイス |
| 電源電力 | ６相半波整流の直流 |
| モデルコード | TVCVD- ISO0609 |
TVCVD- ISO1015 |
TVCVD- ISO1218 |
TVCVD- ISO1520 |
|---|---|---|---|---|
| 積載規格 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2000H |
| 積載量 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 温度分布 | ±6℃ | ±8℃ | ±10℃ | ±12℃ |
| 加熱電力 (KVA) | 300 KVA | 500 KVA | 630 KVA | 840 KVA |
| モデルコード | TVCVI- TG0609 |
TVCVI- TG1015 |
TVCVI- TG1218 |
TVCVI- TG1520 |
|---|---|---|---|---|
| 積載規格 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2200H |
| 積載量 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 加熱電力 (KVA) | DC 600 KVA | DC 1,000 KVA | DC 1,200 KVA | DC 1,500 KVA |