ThermVac

精度

• 解析、計算、シミュレーションに基づいて、 炉構成各部の強度や容量規格を設計

長寿命

• ヒーターアセンブリの水平・垂直度管理

• 炉材の荷重負荷や熱膨張の管理

• 発熱系各部の表面負荷・電流密度管理

• 断熱材各部の温度監視

• 冷却回路分割と流量規格の最適化

• 高温部の負荷密度を最小化

高性能

• 積載条件や工程特性に適した形式の選定

• 工程の要求に忠実な真空・昇温・冷却能力

高品質

• 溶接段階別のカラー検査(PT check )

• 製缶段階別の水平・垂直度・寸法検査

• チャンバシール部の水圧、空気圧試験

• 完成炉ヘリウムリーク検査と漏電検査

• 出荷試験：真空・加圧・昇温・冷却テスト

事後管理

• 消耗性部品の在庫保有

• 主なコンポーネントのBOM管理

• 国内24時間以内にAS対応

• 10年以上の事後管理保証