政府技術開発課題の実行履歴
政府機関 | 開発課題の内容 | 実行期間 |
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次世代生産用シリコンインゴット鋳造炉の開発 | 2010. 07 ~ 2012. 04 | |
20bar ガス加圧焼入れ用多室形真空熱処理炉の開発 | 2014. 06 ~ 2017. 05 | |
水平フロー・垂直フロー兼用のSiC CVD装置の開発 | 2011. 05 ~ 2013. 04 | |
抵抗加熱方式に基づいSiC単結晶成長装置の開発 | 2014. 07 ~2016. 06 | |
高純度グラファイト製造用真空純化炉の開発 | 2018. 05 ~ 2020. 04 | |
統合最適設計を利用した高効率超高温真空炉設計技術の開発 | 2002. 07 ~ 2004. 06 | |
ヒーターコネクターの構造健全性の評価 | 2004. 06 ~ 2004. 11 |