カーボン純化炉
水平または垂直のグラファイトホットゾーン内にマッフルを設置した超高温真空炉です。 バルク、繊維、粉末などの炭素系素材または部品をマッフルに積載し、
塩素またはフッ素系のハロゲンガスを流しながら、真空または分圧の条件下で2,300℃前後に加熱します。これにより、 被処理物内部の不純物が
塩化物やフッ化物の形態で除去され、カーボンサンプルが高純度になります。
製品情報
純化炉
純化炉 特長 - 直流電源装置 : オプション
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放電発生を抑制して 放熱損失を最小限に するし、チャンバーの汚染も 防止する密閉電極構造
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ポンプ前段のフィル ターと後段の排気逆流 防止装置、自体の洗浄 機能でドライポンプを 三重に保護
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純化ガスと 保護ガスの 流路を分離した上、各の圧力を差圧制御して加熱室の汚染を最小化
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熱電対と放射温度計の切替や放射温度計測定器具の最適化で温度制御の精度を確保
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超高温の過熱事故を防止するため、加熱室内外の温度と電力異常を三重に監視する安全装置
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放電を抑制しつつ寿命も延ばすように、電極、コネクタ、ヒーターの表面負荷や電流密度を設計
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製品の形状や積載方法、そして現場のスペース与件に応じて横型または縦型に設計製作
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マッフルの開閉とドアの開閉を 連動することにより、装入作業が迅速かつ便利
純化炉 標準仕様
| 項目 | 仕様 | 項目 | 仕様 |
|---|---|---|---|
| チャンバー形式 | 横型又は縦型 | レトルトマッフル | 四角ボックス又は多角形円筒 |
| 被処理物 | カーボン材料・製品 | プロセスガス | HCl or Cl2, N2 [保護ガス] |
| 使用温度 | Nor. 2000~2200℃[max. 2400℃] | 雰囲気制御 | パルスサイクル制御又は分圧制御 |
| 積載量 | 500 ~ 1200Kg | 圧力範囲 | 1 ~ 90 KPa |
| 温度分布 | ±6~12℃[2200℃, 無負荷、 マッフル3点] | 真空排気 | メカブ + ドライポンプ |
| 昇温速度 | 2 ~ 10℃/分 | リークレート | 1×10-(3)Pa・㎥/sec 以下 |
| 温度測定 | 放射温度計 [補正 : C タイプ熱電対] | 強制冷却 | 18~30時間以内で 2200℃ →200℃冷却 |
| 加熱室材料 | グラファイト | 電源電力 | AC 3ph 又は ６相半波整流の直流 |
純化炉 標準規格
- 横型
| モデルコード | TVUTP- H500 |
TVUTP- H600 |
TVUTP- H800 |
TVUTP- H1200 |
|---|---|---|---|---|
| 有効寸法 (mm) | 1000 * 1000 * 1000 | 1000 * 1000 * 1500 | 1200 * 1200 * 1800 | 1500 * 1500 * 2000 |
| 積載量 (Kg) | 500 Kg | 600 Kg | 800 Kg | 1,200 Kg |
| 加熱電力 (KVA) | 660 KVA | 800 KVA | 1,000 KVA | 1,200 KVA |
- 縦型
| モデルコード | TVUTP- V550 |
TVUTP- V650 |
TVUTP- V700 |
TVUTP- V1000 |
|---|---|---|---|---|
| 有効寸法 (mm) | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2000H |
| 積載量 (Kg) | 530 Kg | 630 Kg | 700 Kg | 1,000 Kg |
| 加熱電力 (KVA) | 640 KVA | 720 KVA | 780 KVA | 1,020 KVA |