ThermVac

高温焼成サービス

粉末の超高温焼成

高価な極端な工程用特殊真空炉装置を社内に保有し、お客様の工程試験、
試験片製作 または焼成サービス要求に対応しています。

粉末の超高温焼成

サービス内容

  • カーボン、CNT、SiCなどの粉末の超高温焼成処理

装備仕様規格

項目 仕様 項目 仕様
装備形式 パルス連続移動式多室形超高温炉 最高使用温度 2500℃
積載容量 50L/パルス プロセスガス Cl2, H2, Argon, N2
使用圧力 0.01 Torr ~ 760 Torr 分圧制御 10 ~ 500 Torr

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