ThermVac

高温焼成サービス

純化/黒鉛化

高価な極端な工程用特殊真空炉装置を社内に保有し、お客様の工程試験、
試験片製作 または焼成サービス要求に対応しています。

純化/黒鉛化

サービス内容

  • 炭素系材料の高純化処理、黒鉛化焼成、超高温焼結

装備仕様規格

項目 仕様 項目 仕様
最高使用温度 2500℃ 積載スペース 800 * 800 * 1200L ㎜
プロセスガス Cl2, Argon, 窒素, 水素 使用圧力 0.01 Torr ~ 760 Torr
分圧制御 10 ~ 500 Torr    

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