ThermVac

高温焼成サービス

CVDサンプルの製作

CVDサンプルの製作

高価な極端な工程用特殊真空炉装置を社内に保有し、お客様の工程試験、
試験片製作 または焼成サービス要求に対応しています。

CVDサンプルの製作

サービス内容

  • SiC、TaC、PyC、B4CなどのセラミックCVDのサンプル作製

装備仕様規格

項目 仕様 項目 仕様
最高使用温度 2400℃ 積載スペース Φ400 * 600 H ㎜
プロセスガス 前駆物質(Precursors), CH4, Cl2, H2, Argon, N2 CVD膜質 SiC, TaC, B4C, PyC, etc.
使用圧力 0.01 Torr ～ 760 Torr 分圧制御 10 ～ 500 Torr

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