对应ISO(等温),
TG(温度梯度)
要求的热场
根据物品摆放水
平与垂直进气皆可
易于维护的反应
室和气体管道
及排气管道
供应气体供应到尾气
处理的成套系统
延长各部位寿命 /
维护周期的方案
| 划分 | 式样 |
|---|---|
| 设备形式 | 水平式等温/等压化学气相沉积反应炉 |
| 设备用途 | 热解炭(PyrolyticCarbon)的含侵(CVI) 或者涂层(CVD) |
| 被处理物 | C/C(Carbon Composite) 石墨(Carbon) Bulk |
| 装料空间 | 254L ~ 3532L |
| 使用温度 | 1,000℃ ~ 1,200℃[Max最高. 1,350℃] |
| 温度云君度 | ±6 ~ 12℃ [1000℃, 无负荷No Load, 真空Vacuum] |
| 升温速度 | 2~10℃/min |
| 温度控制 | 热电偶与可控硅的比例控制 |
| 加热室材料 | 石墨Graphite |
| 反应室形式 | 多角形石墨拼接 |
| 工艺气体 | CH4, C3H8, N2, Argon |
| 气体流量控制 | MFC质量流量计 & 玻璃转子流量计Flow Meter Parallel |
| 工艺压力范围 | 分压 1.3KPa ~ 7KPa, 常压 105KPa |
| 分压控制 | 电容膜片真空计 & 比例调节阀 |
| 真空排气 | 罗茨泵 + 螺杆泵 |
| 装料方式 | 升降式底部装料, 装料台旋转 |
| 排气处理 | 凝缩器, 粉尘过滤网,尾气处理系统 |
| 系统控制 | PLC 控制, 电脑或者触摸屏操作 |
| 输入电力 | 交流 380V, 3Φ |
| 划分 | 式样 |
|---|---|
| 设备形式 | 正面装料垂直型化学沉积反应炉(Cram Shell) |
| 设备用途 | 温度梯度引起的碳薄膜致密化含侵(TG CVI) |
| 处理物品 | 碳纤维预制体 |
| 装料空间 | 254L ~ 3885L |
| 使用温度 | 最高Max. 1200℃ |
| 升温速度 | 2~10℃/min |
| 温度控制 | 热电偶与可控硅的比例控制 |
| 发热体 | 石墨棒材或者板材 |
| 范色斑 | 不锈钢316L板材 |
| 电极构成 | 铜电极 + 石墨盘/板垫片 |
| 工艺气体 | CH4, C3H8, H2, N2 |
| 流量控制 | 质量流量计或者玻璃转子流量计, 比例调节阀 |
| 工艺压力范围 | 分压 15~19KPa, 常压 100 ~ 130KPa |
| 真空排气 | 罗茨泵 + 螺杆泵 |
| 炉门开闭方式 | 液压缸 |
| 排气处理 | 凝缩器, 粉尘过滤网, 尾气处理系统 |
| 系统控制 | PLC 控制, 电脑或者触摸屏操作 |
| 电源 | 6相半波直流(DC) |
| 型号 | TVCVD- ISO0609 |
TVCVD- ISO1015 |
TVCVD- ISO1218 |
TVCVD- ISO1520 |
|---|---|---|---|---|
| 装料空间 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2000H |
| 装炉量 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 温度均匀度 | ±6℃ | ±8℃ | ±10℃ | ±12℃ |
| 加热电力 (KVA) | 300 KVA | 500 KVA | 630 KVA | 840 KVA |
| 型号 | TVCVI- TG0609 |
TVCVI- TG1015 |
TVCVI- TG1218 |
TVCVI- TG1520 |
|---|---|---|---|---|
| 装料空间 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2200H |
| 装炉量 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 加热电力 (KVA) | DC 600 KVA | DC 1,000 KVA | DC 1,200 KVA | DC 1,500 KVA |