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产品介绍

CVD

CVD 设备 特点

  • 对应2400℃
    超高温CVD要求热场

  • 根据物品摆放方
    式设计水平与垂直
    供气喷嘴

  • 便于维护的反应室及
    喷嘴和管道构造

  • 提供供气系统到尾
    气处理全套系统

  • 购成品寿命或者
    延长维护周期的各
    种核心技术

陶瓷 CVD 标准式样

划分 式样 划分 式样
设备形式 垂直型高温化学气相沉积系统 反应室形式 多角拼接型石墨圆筒
设备用途 陶瓷薄膜沉积或者致密化含侵(CVI) 工艺气体 [MTS, CH4, TaCl4, HfCl4, BCl3-NH3], H2, N2, Ar
合成材料 SiC, TaC, HfC, BN, (Pyrolitic) Carbon 工艺压力范围 5KPa ~ 50KPa
装料空间 254L ~ 3532L 真空排气 罗茨泵 + 螺杆泵
使用温度 高温型[Max. 1600℃], 超高温型[Max. 2400℃] 装料方式 升降式底部装料, 装料台旋转
温度均匀度 ± 6~12℃ [1000℃, No Load, Vacuum] 炉门关闭方式 液压锁紧方式
升温速度 2~10℃/min 排气处理 冷凝器, 粉尘捕捉装置, 喷淋塔
温度控制 热电偶和可控硅多区比例控制 系统控制 PLC 控制, 电脑或者触摸屏操作
加热室材料 Graphite 加热器电压 AC 3Φ 或者 DC

陶瓷 CVD 标准制作规格

产品介绍 资料下载

- 高温型(HT)_Max. 1,600℃

型号 TVCVD-
HT0609
TVCVD-
HT1015
TVCVD-
HT1218
TVCVD-
HT1520
装料规格 (mm) Φ600 * 900H Φ1000 * 1500H Φ1200 * 1800H Φ1500 * 2000H
装料重量 (Kg) 200 ~ 300 Kg 550 ~ 700 Kg 750 ~ 1,000 Kg 1,000 ~ 1,300 Kg
温度均匀度 ±6℃ ±8℃ ±10℃ ±12℃
加热电力 (KVA) 360 KVA 600 KVA 750 KVA 1,000 KVA

- 超高温(UT)_Max. 2,400℃

型号 TVCVD-
UT0609
TVCVD-
UT1015
TVCVD-
UT1218
TVCVD-
UT1520
装料规格 (mm) Φ600 * 900H Φ1000 * 1500H Φ1200 * 1800H Φ1500 * 2000H
装料重量 (Kg) 200 ~ 300 Kg 550 ~ 700 Kg 750 ~ 1,000 Kg 1,000 ~ 1,300 Kg
温度均匀度 ±6℃ ±8℃ ±10℃ ±12℃
加热电力 (KVA) 540 KVA 940 KVA 1,140 KVA 1,440 KVA