CVD样品制作
服务内容
- SiC、TaC、PyC、B4C等陶瓷CVD涂层的样品制作
设备规格
| 划分 | 式样 | 划分 | 式样 |
|---|---|---|---|
| 最高工作温度 | 2400℃ | 装载空间 | Φ400 * 600 H ㎜ |
| 工艺气体 | 前体(Precursors)、CH4、氯气. 氩气, 氮气, 氢气 | CVD薄膜材料 | SiC、TaC、B4C、PyC等。 |
| 运营压力 | 1 Pa ~ 100 KPa | 压控制 | 1 Kpa ~ 65 KPa |
服务查询
- Mr. J. G. Lee : +82 10-8665-7513, ljg@thermvac.co.kr