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产品介绍

高纯化炉

高纯化炉 特点 - DC 电源选择事项

  • 抑制放电现象和散热
    最小化的密闭式电极
    构造

  • 过滤器, 防止排气逆流及
    自带清洗技能针对螺杆
    泵进行三重保护

  • 循环气体vs保护气
    体流量及压力控制延
    长加热室寿命

  • 使用最佳的热电偶移动及
    红外仪测量器具确保温度
    控制精密度

  • 为防止超高温过热事故的
    三重温度/电力监视装置

  • 同时确保防放电和
    延长寿命的发热负
    荷设计

  • 根据物品形状与摆
    放方式炉型有水平
    式和垂直

  • 小型试生产炉型到
    大型量产炉型匀具备

高纯化炉 标准式样

划分 式样 划分 式样
设备形式 水平或者垂直型超高温气体反应真空炉 反应室 四方形或者多角圆筒形等静压石墨马佛罐
处理物品 石墨 工艺气体 HCl l或者Cl2[循环气体], 氮气[保护气体]
使用温度 Nor. 2,000~2,200℃ [Max. 2,300℃] 工艺气氛 脉冲式控制, 分压控制
装炉量 500 ~ 1200Kg 工艺压力 1 ~ 90 KPa
温度均匀度 ±12℃ [无负荷, 测量反应室对角线方向3点, 2200℃] 真空排气 MBP + Dry Pump [ 40分钟内到达 1Pa 以下,无负荷]
升温速度 10℃/分(~1500℃), 5℃/分(~2000℃), 2℃/分(~2200℃) 泄漏率 1×10-(3)Pa・㎥/sec 以下
温度测量 红外仪[温度检验: C 型热电偶] 强制冷却 2200℃ -> 200℃ 约18~36小时
加热室材料 石墨 发热电源 交流或者直流

高纯化炉 制作规格

产品介绍 资料下载

- 水平型

型号 TVUTP-
H500
TVUTP-
H600
TVUTP-
H800
TVUTP-
H1200
装炉空间 (mm) 1000 * 1000 * 1000 1000 * 1000 * 1500 1200 * 1200 * 1800 1500 * 1500 * 2000
装炉量 (Kg) 500 Kg 600 Kg 800 Kg 1,200 Kg
加热电力 (KVA) 660 KVA 800 KVA 1,000 KVA 1,200 KVA

- 垂直型

型号 TVUTP-
V550
TVUTP-
V650
TVUTP-
V700
TVUTP-
V1000
装炉空间 (mm) Φ1000 * 1500H Φ1200 * 1500H Φ1200 * 1800H Φ1500 * 2000H
装炉量 (Kg) 530 Kg 630 Kg 700 Kg 1,000 Kg
加热电力 (KVA) 640 KVA 720 KVA 780 KVA 1,020 KVA