政府课题履行简历
主管机关 | 政府课题履行内容 | 履行时间 |
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研发次时代生产用硅铸锭炉 | 2010. 07 ~ 2012. 04 | |
研发1吨及20bar加压机气体/油淬火真空炉 | 2010. 07 ~ 2012. 04 | |
研发Vertical/Horizontal兼用SiCCVD 设备 | 2011. 05 ~ 2013. 04 | |
研发电阻加热型SiC单晶生长炉 | 2014. 07 ~2016. 06 | |
研发制造高纯度石墨材料的超高温纯化真空炉 | 2018. 05 ~ 2020. 04 | |
研发高效率超高温真空炉技术 | 2002. 07 ~ 2004. 06 | |
评价Heater 连接件构造健全性 | 2004. 06 ~ 2004. 11 |