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제품소개

구분	사양	구분	사양
장비 형식	수평 또는 수직형 초고온 가스반응 진공로	가열실 재료	Graphite
피처리물	Non-Oxide Ceramics [SiC, AlN, B4C]	Retort Box	사각 박스형 또는 다각 원통형 Graphite CIP Muffle
사용 온도	Nor. 1,900~2,200℃ [Max. 2,300℃]	공정 가스	Argon, Helium, Nitrogen
장입 용량	500 ~ 1200Kg	공정 압력	100 KPa
온도 균일도	±6~12℃ [무부하, 머플 표면 대각선 3점, 2200℃]	진공배기	MBP + Dry Pump [ 40분 이내 1Pa 이하, 무부하]
승온 속도	10℃/분(~1500℃), 5℃/분(~2000℃), 2℃/분(~2200℃)	Leak Rate	1×10-(3)Pa・㎥/sec 이하
온도 측정	Pyrometer [온도검증 : C type 열전대]	강제 냉각	2200℃ -> 200℃ 약 18~36시간
발열회로	2~6회로	발열 전원	AC 3Φ 또는 DC

모델명	TVUTP- H500	TVUTP- H600	TVUTP- H800	TVUTP- H1200
장입규격 (mm)	1000 * 1000 * 1000	1000 * 1000 * 1500	1200 * 1200 * 1800	1500 * 1500 * 2000
장입중량 (Kg)	500 Kg	600 Kg	800 Kg	1,200 Kg
가열전력 (KVA)	660 KVA	800 KVA	1,000 KVA	1,200 KVA

모델명	TVUTP- V550	TVUTP- V650	TVUTP- V700	TVUTP- V1000
장입규격 (mm)	Φ1000 * 1500H	Φ1200 * 1500H	Φ1200 * 1800H	Φ1500 * 2000H
장입중량 (Kg)	530 Kg	630 Kg	700 Kg	1,000 Kg
가열전력 (KVA)	640 KVA	720 KVA	780 KVA	1,020 KVA