분말 초고온 소성
서비스 내용
- Carbon, CNT, SiC 등 분말의 초고온 소성 처리
장비 사양규격
| 구분 | 사양 | 구분 | 사양 |
|---|---|---|---|
| 장비 형식 | Pulse 연속 이동식 다실형 초고온로 | 최고사용온도 | 2500도 |
| 적재용량 | 50L/pulse | 공정가스 | Cl2, H2, Argon, N2 |
| 사용압력 | 0.01 Torr ~ 760 Torr | 분압제어 | 10 ~ 500 Torr |
서비스 문의
- 이재규 연구원 : 010-8665-7513, ljg@thermvac.co.kr