ThermVac

정확성

• 해석, 계산, 시뮬레이션에 기반하여
  구성 각부의 강도/용량 규격 설계

장수명

• 히터 수평/수직도 관리

• 로재 하중부하 및 팽창도 관리

• 히터 각부의 표면부하/전류밀도 배분

• 단열재 각부 온도 감시

• 냉각회로 분할 및 규격 최적화

• 고온부 부하밀도 경감

고성능

• 적재규격 및 공정특성에 적합한 형식

• 공정요구에 충실한 진공/승온/냉각 능력

고품질

• 용접 단계별 칼라 검사

• 제관 단계별 수평/수직도/치수 검사

• 챔버 밀봉부 수압, 공기압 시험

• 헬륨 누설 검사 및 누전 검사

• 출하 시험 : 진공/승온/냉각 테스트

사후 관리

• 소모성 부품의 재고 보유

• 주요 구성품 BOM 관리

• 24시간 이내 AS 대응

• 10년 이상의 사후관리보증