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제품소개

장비철학

진공로 공급범위

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장비사업철학

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    정확성

    • 해석, 계산, 시뮬레이션에 기반하여
      구성 각부의 강도/용량 규격 설계

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    장수명

    • 히터 수평/수직도 관리

    • 로재 하중부하 및 팽창도 관리

    • 히터 각부의 표면부하/전류밀도 배분

    • 단열재 각부 온도 감시

    • 냉각회로 분할 및 규격 최적화

    • 고온부 부하밀도 경감

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    고성능

    • 적재규격 및 공정특성에 적합한 형식

    • 공정요구에 충실한 진공/승온/냉각 능력

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    고품질

    • 용접 단계별 칼라 검사

    • 제관 단계별 수평/수직도/치수 검사

    • 챔버 밀봉부 수압, 공기압 시험

    • 헬륨 누설 검사 및 누전 검사

    • 출하 시험 : 진공/승온/냉각 테스트

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    사후 관리

    • 소모성 부품의 재고 보유

    • 주요 구성품 BOM 관리

    • 24시간 이내 AS 대응

    • 10년 이상의 사후관리보증