제품소개

고순화로

고순화로 특장점 - DC 전원 선택사양

  • 방전발생 억제와 함께
    방열손실을 최소화하는
    밀폐 전극 구조

  • 필터, 배기역류 방지 및
    자체 세정 기능으로
    Dry Pump 3중 보호

  • 순화 가스 vs 보호 가스의
    유로 및 압력 제어에 의한
    가열실 수명 연장

  • 열전대 이동 및
    방사온도계 측정기구의
    최적화로 온도제어의
    정밀성 확보

  • 초고온 과열사고의
    방지를 위한 온도/전력
    감시의 3중 안전 장치

  • 방전방지와 수명 연장을
    동시에 확보할 수 있는
    발열 부하 설계

  • 제품 형상 또는
    적재 방식에 따라
    수평형 또는 수직형
    으로 설계 제작

  • Muffle 개폐와 도어
    개폐를 연동함으로써
    장입작업이 신속하고
    편리

고순화로 표준사양

구분 사양 구분 사양
장비 형식 수평 또는 수직형 초고온 가스반응 진공로 Retort Box 사각 박스형 또는 다각 원통형 Graphite CIP Muffle
피처리물 Graphite Bulk 공정 가스 HCl 또는 Cl2 [순화가스], 질소 [보호가스]
사용 온도 Nor. 2,000~2,200℃ [Max. 2,300℃] 공정 분위기 Pulse Cycle 제어, 가스분압 제어
장입 용량 500 ~ 1200Kg 공정 압력 1 ~ 90 KPa
온도 균일도 ±12℃ [무부하, 머플 표면 대각선 방향 3점, 2200℃] 진공배기 MBP + Dry Pump [ 40분 이내 1Pa 이하, 무부하]
승온 속도 10℃/분(~1500℃), 5℃/분(~2000℃), 2℃/분(~2200℃) Leak Rate 1×10-(3)Pa・㎥/sec 이하
온도 측정 Pyrometer [온도검증 : C type 열전대] 강제 냉각 2200℃ -> 200℃ 약 18~36시간
가열실 재료 Graphite 발열 전원 AC 3Φ 또는 DC

고순화로 제작 규격

제품소개 다운로드

- 수평형

모델명 TVUTP-H500 TVUTP-H600 TVUTP-H800 TVUTP-H1200
장입규격 (mm) 1000 * 1000 * 1000 1000 * 1000 * 1500 1200 * 1200 * 1800 1500 * 1500 * 2000
장입중량 (Kg) 500 Kg 600 Kg 800 Kg 1,200 Kg
가열전력 (KVA) 660 KVA 800 KVA 1,000 KVA 1,200 KVA

- 수직형

모델명 TVUTP-V550 TVUTP-V650 TVUTP-V700 TVUTP-V1000
장입규격 (mm) Φ1000 * 1500H Φ1200 * 1500H Φ1200 * 1800H Φ1500 * 2000H
장입중량 (Kg) 530 Kg 630 Kg 700 Kg 1,000 Kg
가열전력 (KVA) 640 KVA 720 KVA 780 KVA 1,020 KVA