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제품소개

구분	사양	구분	사양
장비 형식	수평 또는 수직형 초고온 가스반응 진공로	Retort Box	사각 박스형 또는 다각 원통형 Graphite CIP Muffle
피처리물	Graphite Bulk	공정 가스	HCl 또는 Cl2 [순화가스], 질소 [보호가스]
사용 온도	Nor. 2,000~2,200℃ [Max. 2,300℃]	공정 분위기	Pulse Cycle 제어, 가스분압 제어
장입 용량	500 ~ 1200Kg	공정 압력	1 ~ 90 KPa
온도 균일도	±12℃ [무부하, 머플 표면 대각선 방향 3점, 2200℃]	진공배기	MBP + Dry Pump [ 40분 이내 1Pa 이하, 무부하]
승온 속도	10℃/분(~1500℃), 5℃/분(~2000℃), 2℃/분(~2200℃)	Leak Rate	1×10-(3)Pa・㎥/sec 이하
온도 측정	Pyrometer [온도검증 : C type 열전대]	강제 냉각	2200℃ -> 200℃ 약 18~36시간
가열실 재료	Graphite	발열 전원	AC 3Φ 또는 DC

모델명	TVUTP- H500	TVUTP- H600	TVUTP- H800	TVUTP- H1200
장입규격 (mm)	1000 * 1000 * 1000	1000 * 1000 * 1500	1200 * 1200 * 1800	1500 * 1500 * 2000
장입중량 (Kg)	500 Kg	600 Kg	800 Kg	1,200 Kg
가열전력 (KVA)	660 KVA	800 KVA	1,000 KVA	1,200 KVA

모델명	TVUTP- V550	TVUTP- V650	TVUTP- V700	TVUTP- V1000
장입규격 (mm)	Φ1000 * 1500H	Φ1200 * 1500H	Φ1200 * 1800H	Φ1500 * 2000H
장입중량 (Kg)	530 Kg	630 Kg	700 Kg	1,000 Kg
가열전력 (KVA)	640 KVA	720 KVA	780 KVA	1,020 KVA