제품소개

CVI & CVD

CVI/CVD 장비 특장점

  • ISO(Iso Thermal),
    TG(Temp. Gradient)
    요구에 대응하는
    Hot Zone

  • 제품 적재조건에 따라
    수평, 수직 Gas Flow
    모두 가능

  • 유지보수가 용이한
    Muffle, Nozzle 및
    배관 구조

  • 가스공급 ~ 배기처리
    Scrubber 전라인
    Turn Key 공급

  • 각부 수명/유지보수주기
    연장을 위한 각종 고안

Carbon ISO CVI/CVD 표준공통사양

구분 사양
장비 형식 수직형 등온/등압 화학기상 Reactor Furnace
장비 용도 열분해탄소(Pyrolytic Carbon)의 함침(CVI) 또는 증착(CVD)
피처리물 C/C(Carbon Composite) 또는 Graphite(Carbon) Bulk
적재 공간 254L ~ 3532L
사용 온도 1,000℃ ~ 1,200℃[Max. 1,350℃]
온도 분포도 ±6 ~ 12℃ [1000℃, No Load, Vacuum]
승온 속도 2~10℃/min
온도 제어 열전대와 SCR에 의한 Multi Zone PID 제어
가열실 재료 Graphite
Retort Muffle 형식 다각조립형 Graphite 원통
공정 가스 CH4, C3H8, N2, Argon
Gas 유량제어 MFC & Flow Meter Parallel
공정 압력 범위 분압 1.3KPa ~ 7KPa, 상압 105KPa
분압 배기제어 Manometer & Throttle Valve
진공배기 Mechanical Booster Pump + Dry Pump
제품 장입 승강식 하부도어 장입, 턴테이블 회전
배기 처리 응축 Trap, 분진 Filter, Scrubber
시스템 제어 PLC Control, PC or Touch Panel Operation
Electric Power AC 380V, 3Φ

Carbon TG CVI 표준공통사양

모델명 사양
장비 형식 전면장입 수직형(Cram Shell) 화학기상 Reactor Furnace
장비 용도 온도경사에 의한 Carbon 막 치밀화 함침(TG CVI)
피처리물 Carbon Composite Preform
적재 공간 254L ~ 3885L
사용 온도 Max. 1200℃
승온 속도 2~10℃/min
온도 제어 열전대와 SCR에 의한 PID 제어
발열체 Graphite Rod or Plate
반사판 STS316L Sheet Assembly Shield
전극 구성 Copper 전극 + Graphite Disc/Plate Spacers
공정 가스 CH4, C3H8, H2, N2
유량 제어 MFC or Flow Meter, Throttle Exhaust Valve
공정 압력 범위 분압 15~19KPa, 상압 100 ~ 130KPa
진공배기 Mechanical Booster Pump + Dry Pump
도어 잠금 방식 유압 클램프 잠금 방식
배기 처리 Copper Pellet Trap, 분진 Filter, Scrubber
시스템 제어 PLC Control, PC or Touch Panel Operation
Electric Power 6상반파 정류 직류(DC)

Carbon CVI/CVD 표준제작규격

제품소개 다운로드

- ISO CVI/CVD

모델명 TVCVD-ISO0609 TVCVD-ISO1015 TVCVD-ISO1218 TVCVD-ISO1520
장입규격 (mm) Φ600 * 900H Φ1000 * 1500H Φ1200 * 1800H Φ1500 * 2000H
장입중량 (Kg) 200 ~ 300 Kg 550 ~ 700 Kg 750 ~ 1,000 Kg 1,000 ~ 1,300 Kg
온도 분포도 ±6℃ ±8℃ ±10℃ ±12℃
가열전력 (KVA) 300 KVA 500 KVA 630 KVA 840 KVA

- TG CVI

모델명 TVCVI-TG0609 TVCVI-TG1015 TVCVI-TG1218 TVCVI-TG1520
장입규격 (mm) Φ600 * 900H Φ1000 * 1500H Φ1200 * 1800H Φ1500 * 2200H
장입중량 (Kg) 200 ~ 300 Kg 550 ~ 700 Kg 750 ~ 1,000 Kg 1,000 ~ 1,300 Kg
가열전력 (KVA) DC 600 KVA DC 1,000 KVA DC 1,200 KVA DC 1,500 KVA