ISO(Iso Thermal),
TG(Temp. Gradient)
요구에 대응하는
Hot Zone
제품 적재조건에 따라
수평, 수직 Gas Flow
모두 가능
유지보수가 용이한
Muffle, Nozzle 및
배관 구조
가스공급 ~ 배기처리
Scrubber 전라인
Turn Key 공급
각부 수명/유지보수주기
연장을 위한 각종 고안
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 장비 형식 | 수직형 등온/등압 화학기상 Reactor Furnace |
| 장비 용도 | 열분해탄소(Pyrolytic Carbon)의 함침(CVI) 또는 증착(CVD) |
| 피처리물 | C/C(Carbon Composite) 또는 Graphite(Carbon) Bulk |
| 적재 공간 | 254L ~ 3532L |
| 사용 온도 | 1,000℃ ~ 1,200℃[Max. 1,350℃] |
| 온도 분포도 | ±6 ~ 12℃ [1000℃, No Load, Vacuum] |
| 승온 속도 | 2~10℃/min |
| 온도 제어 | 열전대와 SCR에 의한 Multi Zone PID 제어 |
| 가열실 재료 | Graphite |
| Retort Muffle 형식 | 다각조립형 Graphite 원통 |
| 공정 가스 | CH4, C3H8, N2, Argon |
| Gas 유량제어 | MFC & Flow Meter Parallel |
| 공정 압력 범위 | 분압 1.3KPa ~ 7KPa, 상압 105KPa |
| 분압 배기제어 | Manometer & Throttle Valve |
| 진공배기 | Mechanical Booster Pump + Dry Pump |
| 제품 장입 | 승강식 하부도어 장입, 턴테이블 회전 |
| 배기 처리 | 응축 Trap, 분진 Filter, Scrubber |
| 시스템 제어 | PLC Control, PC or Touch Panel Operation |
| Electric Power | AC 380V, 3Φ |
| 구분 | 사양 |
|---|---|
| 장비 형식 | 전면장입 수직형(Cram Shell) 화학기상 Reactor Furnace |
| 장비 용도 | 온도경사에 의한 Carbon 막 치밀화 함침(TG CVI) |
| 피처리물 | Carbon Composite Preform |
| 적재 공간 | 254L ~ 3885L |
| 사용 온도 | Max. 1200℃ |
| 승온 속도 | 2~10℃/min |
| 온도 제어 | 열전대와 SCR에 의한 PID 제어 |
| 발열체 | Graphite Rod or Plate |
| 반사판 | STS316L Sheet Assembly Shield |
| 전극 구성 | Copper 전극 + Graphite Disc/Plate Spacers |
| 공정 가스 | CH4, C3H8, H2, N2 |
| 유량 제어 | MFC or Flow Meter, Throttle Exhaust Valve |
| 공정 압력 범위 | 분압 15~19KPa, 상압 100 ~ 130KPa |
| 진공배기 | Mechanical Booster Pump + Dry Pump |
| 도어 잠금 방식 | 유압 클램프 잠금 방식 |
| 배기 처리 | Copper Pellet Trap, 분진 Filter, Scrubber |
| 시스템 제어 | PLC Control, PC or Touch Panel Operation |
| Electric Power | 6상반파 정류 직류(DC) |
| 모델명 | TVCVD- ISO0609 |
TVCVD- ISO1015 |
TVCVD- ISO1218 |
TVCVD- ISO1520 |
|---|---|---|---|---|
| 장입규격 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2000H |
| 장입중량 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 온도 분포도 | ±6℃ | ±8℃ | ±10℃ | ±12℃ |
| 가열전력 (KVA) | 300 KVA | 500 KVA | 630 KVA | 840 KVA |
| 모델명 | TVCVI- TG0609 |
TVCVI- TG1015 |
TVCVI- TG1218 |
TVCVI- TG1520 |
|---|---|---|---|---|
| 장입규격 (mm) | Φ600 * 900H | Φ1000 * 1500H | Φ1200 * 1800H | Φ1500 * 2200H |
| 장입중량 (Kg) | 200 ~ 300 Kg | 550 ~ 700 Kg | 750 ~ 1,000 Kg | 1,000 ~ 1,300 Kg |
| 가열전력 (KVA) | DC 600 KVA | DC 1,000 KVA | DC 1,200 KVA | DC 1,500 KVA |