과제수행실적 홈 > 기술현황 > 과제수행실적

관련기관 과제명 개발기간
산업자원부 에너지 절약형 고온 카본 발열체의 개발 2001-2003
에너지관리공단 통합최적설계를 이용한 고효율 초고온 진공로 설계기술 개발 2002-2004
생산기술연구원 히터 연결봉의 구조건전성 평가 2004-2004
한러기술협력센터 진공 플라즈마 열원 개발 2004-2004
산업자원부 기상응축 열교환을 이용한 전구간 고정밀 등온 가열로 개발 2005-2006
중소기업청 GPS 개발 2009-2011
중소기업청 태양전지용 실리콘 잉곳 Casting Furnace 개발 2009-2011
지식경제부 주상정 특성을 갖는 거대 그레인의 다결정 실리콘 잉곳/
웨이퍼 생산장비 및 공정 개발
2010-2012
중소기업청 Vertical/Horizontal 겸용 SiC CVD Pilot 장치 개발 2011-2013
중소기업청 승화법에 의한 비산화물계 세라믹스 단결정 제조용 신개념 저항가열방식 기반
성장장치 개발
2014~2016
산업통상자원부 초정밀 금형 및 고속도공구강용 20bar 가압이 가능한 1톤 용량급 친환경 고온
진공 열처리로 개발
2014~2017

 

경기도 화성시 장안면 장안로 480-126 화성스마트밸리
TEL : 82 - 31 - 351 - 4490 / FAX : 82 - 31 - 354 - 4489
E-mail : thermvac@thermvac.co.kr
Copyright ⓒ ThermVac Inc Co., Ltd. All right reserved.