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| 관련기관
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과제명 |
개발기간
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| 산업자원부
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에너지
절약형 고온 카본 발열체의 개발 |
2001-2003 |
| 에너지관리공단
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통합최적설계를
이용한 고효율 초고온 진공로 설계기술 개발 |
2002-2004 |
| 생산기술연구원 |
히터
연결봉의 구조건전성 평가 |
2004-2004 |
| 한러기술협력센터 |
진공
플라즈마 열원 개발 |
2004-2004 |
| 산업자원부
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기상응축
열교환을 이용한 전구간 고정밀 등온 가열로 개발 |
2005-2006 |
| 중소기업청 |
GPS
개발 |
2009-2011 |
| 중소기업청 |
태양전지용
실리콘 잉곳 Casting Furnace 개발 |
2009-2011 |
| 지식경제부
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주상정
특성을 갖는 거대 그레인의 다결정 실리콘 잉곳/
웨이퍼 생산장비 및 공정 개발 |
2010-2012 |
| 중소기업청 |
Vertical/Horizontal
겸용 SiC CVD Pilot 장치 개발 |
2011-2013 |
| 중소기업청 |
승화법에
의한 비산화물계 세라믹스 단결정 제조용 신개념 저항가열방식 기반
성장장치 개발 |
2014~2016 |
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산업통상자원부 |
초정밀
금형 및 고속도공구강용 20bar 가압이 가능한 1톤 용량급 친환경 고온
진공 열처리로 개발 |
2014~2017 |
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