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Vacuum Furnace _ Carbon 材
가공성이 좋고 비교적 염가인데다가 사용온도 범위도 초고온 영역까지 넓기 때문에 진공로의 Hot Zone재로서 가장 폭넓게 사용되지만 재료 자체에서 탄소 성분이 유리되어 시료의 품질에 악영향을 줄 우려가 있는 단점이 있습니다.
진공은 물론 가스 분위기와의 상호보완성을 이용하여 다양한 분위기 열프로세스를 기대할 수 있습니다 .
히터 특성
- 열팽창율과 열왜곡성이 낮아 열충격이 강한 편임
- 고온에서 강도가 강해지며 저항은 500 ℃에서 최저, 이후 정특성
- 형태 : Plate, Rod, Pipe, 원형, 나선형
단열재 특성
- 단열성능이 뛰어나나 물성에 대한 표준 데이터가 미비한 편임
- 표면 코팅처리로 미세 분진의 비산을 방지하고 방사율을 높임
- 형태 : Rigid Felt(Sheet), Soft Felt, 성형체
형태 / 구조의 응용
- 진공용기 및 가열실 : 사각 / 원형 , 수직형 / 수평형
- 발열체의 배치 : 2 면 , 4 면 , 6 면 ( 전면 )
- 시료의 장입 : Front/Bottom/Top Loading
분위기 가스와의 관계

분위기

정격

수소

질소

불활성

고진공

저진공

안전온도

2500℃

1200℃

2200℃

2500℃

2000℃

2200℃

선택사양
- Pyrometer ⇔ T/C 전환장치
- Hot Press 열간가압
- 초고온 (up to 3000 ℃ ) 패키지
- 가압분위기 및 프로그램 냉각
- Retort (Tight Box)
- Binder/Wax Condensing Trap
Vacuum Furnace _ Refractory Metal 材
몰리브덴 , 텅스텐 , 탄탈 등의 고융점 금속을 Hot Zone 재료로 사용하는 바 , 고온 도달 능력이 우수하고 로내를 청정하게 유지할 수 있어 시료를 오염시키지 않는 장점이 있으나 기계 가공성이나 용접성이 매우 나쁘고 열팽창율도 크기 때문에 설계 및 제작에 많은 연구와 주의가 필요합니다 .
히터 특성
- 열팽창이 크고 한번 가열되면 재결정으로 Brittle 해짐
- 상온과 고온에서의 전기저항이 크게 다름
- 형태 : Rod(Wire), Sheet, Wire Mesh( 텅스텐 )
단열재 특성
- 1 mm 이내의 박판 Sheet 를 적정 간격을 두고 적층 조립
- Sheet 표면에 광택이 있을수록 단열효과가 좋아짐
- 형태 : SUS Casing & Sheets + Moly Sheets + (Tungsten Sheets)
형태 / 구조의 응용
- 진공용기 및 가열실 : 사각 / 원형 , 수직형 / 수평형
- 발열체의 배치 : 2 면 , 4 면 , 6 면 ( 전면 )
- 시료의 장입 : Front/Bottom/Top Loading
분위기 가스와의 관계 ( 최고 사용 온도 )

분위기

정격

Wet 수소

Dry 수소

질소

불활성

진공

안전
온도

Mo

1750℃

1550℃

1750℃

1750℃

1750℃

1750℃

W

2200℃

1600℃

2200℃

2200℃

2200℃

2200℃

선택사양
- Charge Carrier (Moly, TZM, W)
- Retort (Moly, TZM, W)
- 초고온 (up to 3000 ℃ ) 패키지
- 프로그램 냉각 장치
- Pyrometer ⇔ T/C 절환장치
- Binder/Wax Condensing Trap
Vacuum Furnace _ Other Hot Zone 材
고온 진공 ( 분위기 ) 로 전용인 Graphite Carbon 과 Refractory Metal 재료 이외에도 , 염가의 중저온용으로서 Process 조건에 가장 적합한 재질로 발열체와 단열재를 선택하여 Hot Zone 을 설계하고 사용목적에 맞게 전체 시스템을 구성합니다 . 진공은 물론 각종 가스의 도입으로 다양한 분위기의 열프로세스도 구현할 수 있습니다
Hot Zone 재료
- 발열체 : Kanthal(FeCrAl; 철크롬계 ), SiC, MoSi2
- 단열재 : High Alumina Board/Felt, Sandwich Panel,
발열체 특성
- 히터공통 : 표면의 산화피막이 분해되므로 진공 / 환원분위기에서는 모두 사용온도가 낮아짐
- Kanthal : 고온강도가 약하고 가열 후 Brittle 해지며 정온도, 저항특성을 가짐
- SiC : 700 ℃ 정도에서 저항온도특성이 부에서 정으로 바뀌며, 사용시간의 경과에 따라 저항이 계속 증가하므로
           그에 따른 전압 상승이 필요
- MoSi2 : 고온에서 연화되므로 수직으로 설치하며 저항은 정온도 특성
형태 / 구조의 응용
- 진공용기 및 가열실 : 사각 / 원형 , 수직형 / 수평형
- 발열체의 배치 : 2 면 , 4 면 , 6 면 ( 전면 )
- 시료의 장입 : Front/Bottom/Top Loading
분위기 가스와의 관계 ( 최고 사용 온도 )

분위기

정격

Wet 수소

Dry 수소

질소

불활성

진공

안전온도

Kanthal

1200℃

1200℃

1200℃

1000℃

1200℃

1150℃

SiC

1500℃

1250℃

1300℃

1300℃

1500℃

1200℃

MoSi2

1800℃

1500℃

1400℃

1700℃

1700℃

1200℃


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